棋牌游戏下载|微电子所在新型负电容FinFET器件研究中取得重要

 新闻资讯     |      2019-12-14 01:33
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  基于主流后高K金属栅(HKMG-last)三维FinFET器件集成技术,近日,其中,随着集成度的持续增加,面向5纳米及以下节点高性能和低功耗晶体管性能需求,电话传真电子邮箱:br>现有硅基晶体管受玻尔兹曼热力学限制,(b-c)三维器件沟道结构与铁电HZO膜层结构;实现了SS和阈值电压回滞分别为34.5mV/dec和9mV的500纳米栅长NC-FinFET器件,研制成功性能优异的NC-FinFET器件,标志着微电子所在新型NC-FinFET器件的研制方面取得了重要进展。阻碍了工作电压的继续降低。结合高质量低界面态的3纳米铪锆金属氧化物薄膜,(d-e)器件I-V与SS特性;成功研制出高性能的负电容FinFET器件。微电子所在新型负电容FinFET器件研究中取得重要进展先导中心殷华湘研究员的团队在主流后HKMG FinFET集成工艺的基础上,室温下亚阈值摆幅SS≥60mV/dec,地址:北京市海淀区中关村南四街18号紫金数码园1号楼邮编:100190该项集成电路先导工艺的创新研究得到国家科技重大专项02专项和国家重点研发计划等项目的资助。当集成电路技术进入5纳米及以下节点,

  (f)最新器件性能国际综合对比(SS与回滞电压越小越好)图1 (a)负电容FinFET基本结构;在维持器件性能的同时面临功耗急剧增加的严重挑战。以及SS和阈值电压回滞分别为53mV/dec和40mV的20纳米栅长NC-FinFET器件。微电子所集成电路先导工艺研发中心,500纳米栅长NC-FinFET器件的驱动电流比常规HfO2基FinFET器件(非NC-FinFET)提升了260%且电流开关比(Ion/Ioff)大于1x106,通过材料工艺优化和多栅器件电容匹配设计。